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多晶硅废气处理

作者:  点击:日期:2018/10/23 9:42:44

多晶硅废气处理 

多 晶硅生产过程中产生的废气、尉液,其主要成分为SiCl4、SiHCl3、Sill2C12、HCl、H2、N2及少量的金属氯化物。目前国内多晶硅厂几 乎全都采用碱液淋洗工艺,主要是因为其投资较少,工艺流程简单。工艺大致为:多晶硅生产中废气、废液直接进入碱液(NaOH或CaO溶液)淋洗塔,生成 NaCl、CaCl2、SiO2(粉)、Na2SiO3等,然后送至后续的废水处理单元,进行进一步脱盐和固体废物处理;出淋洗塔的尾气(含H2、其他惰性气体)排空。


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